流量範囲

0～10sccm(最大1,000sccm)

使用可能媒体

気体・液体

流量範囲

0～10sccm(最大10slpm)

使用可能媒体

気体

流量範囲

0～35slpm(最大450slpm)

使用可能媒体

気体

流量範囲

0～10sccm(最大50slpm)

使用可能媒体

気体