流量範囲

0～10sccm(最大50slpm)

使用可能媒体

気体

流量範囲

0～35slpm(最大450slpm)

使用可能媒体

気体

流量範囲

0～10sccm(最大10slpm)

使用可能媒体

気体

流量範囲

0～10sccm(最大1,000sccm)

使用可能媒体

気体・液体

圧力範囲

低圧:0～0.3psi(最大1.5psi)

圧力タイプ

ゲージ圧

パッケージ

ボタン型

圧力範囲

中圧:0～15psi(最大100psi)

圧力タイプ

ゲージ圧、絶対圧、差圧、マイナスゲージ圧

パッケージ

ボタン型

圧力範囲

中圧:0～220psi

圧力タイプ

絶対圧

パッケージ

メタル

圧力範囲

超微圧:0～5mbar(最大10mbar)
低圧:0～0.15psi(最大2psi)
中圧:0～3psi(最大100psi)

圧力タイプ

ゲージ圧、絶対圧、差圧、マイナスゲージ圧

パッケージ

セラミック

圧力範囲

低圧:0～0.03psi(最大3psi)
中圧:0～5psi(最大150psi)

圧力タイプ

ゲージ圧、絶対圧、差圧、マイナスゲージ圧

パッケージ

セラミック

圧力範囲

超微圧:0～0.25mbar(最大5mbar)
低圧:0～0.15psi(最大0.7psi)
中圧:0～3psi(最大150psi)

圧力タイプ

ゲージ圧、絶対圧、差圧

パッケージ

セラミック