フローセンサ
すべてのエアーフローセンサは流体や差圧の熱伝達により動作します。シリコンチップは、ヒーターと温度検知素子を含む温度隔離ブリッジ構造になっている薄膜で構成されています。
これらの特徴により、空気やガスのフロー、量、方向を即座に反応し、比例出力電圧を発生させます。
増幅バージョンでは出力信号の増幅と外部回路の削減が実現され、非増幅バージョンでは外部回路オプションが可能です。
これらの特徴により、空気やガスのフロー、量、方向を即座に反応し、比例出力電圧を発生させます。
増幅バージョンでは出力信号の増幅と外部回路の削減が実現され、非増幅バージョンでは外部回路オプションが可能です。
センサの出力信号をブーストする追加エレクトロニクスが含まれるエアーフローセンサです。
ユーザーによる任意の増幅が可能で、さらにセンサ出力信号の最高解像度が維持されたエアーフローセンサです。
流量範囲
0~10sccm(最大1,000sccm)
使用可能媒体
気体・液体
流量範囲
0~10sccm(最大10slpm)
使用可能媒体
気体
流量範囲
0~35slpm(最大450slpm)
使用可能媒体
気体
流量範囲
0~10sccm(最大50slpm)
使用可能媒体
気体