シリーズ
AWM1000シリーズ
精度
±1%FS
流量レンジ
±200SCCM±10mbar＋1000～-600SCCM
出力
アナログ出力
特徴
低価格・高精度
AWM2000シリーズ
レンジにより異なる(データシート参照)
±200SCCM±30SCCM±10mbar±1000SCCM
温度補正
AWM90000シリーズ
±200SCCM±5mbar
高速応答
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