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apm紹介
Asia Pacific Microsystems, Inc.(APM)は、
2001年に設立されたMEMS専門のファンドリー会社(受託加工サービス)で、長年にわたりMEMSセンサ、アクチュエーター・微細構造体などの量産において広範囲で製造経験を積み重ねております。

これまで特化しておりました性能と生産領域におきまして、自動車・家電・通信・FA機器・医療の分野の様々なお客様に対してファンドリーサービスを提供してきております。

・世界有数の半導体・MEMS生産ハブの一つである台湾 新竹(Science-Based Industrial Park)に所在
・月12,000枚以上のウェハの処理能力を有する6インチMEMS生産ライン(8インチ生産ライン プロジェクト進行中)
・リアルタイム・ロットモニタリングシステムによる数百以上の並行業務と常時作業者管理による生産且つコスト効率の最適化
・広範囲な製造経験に基づく製品導入プロセスにおける体系的なプロジェクトアプローチ
・日本、ヨーロッパ、アメリカ、中国、台湾といった全世界に広がる顧客基盤とウェハ1,000枚以上の顧客要求への対応
プロジェクトの流れ

APMでは開発製品導入プロセスを各お客様個別で調整し、MEMS商品化における多様なニーズに効率的且つ柔軟に対応することが可能です。多岐にわたるMEMSを提供できます。

《主なSensor》
Pressure Sensor(圧力センサ)/Microphone(マイクロフォン)/Optical Micromirror(光学マイクロミラー)/Gas Sensor(ガスセンサ)/Force Sensor(フォースセンサ)/Flow Sensor(流量センサ)/IR Sensorなど
APMプロジェクトの流れ
ASAP in Pressure Sensor
ASAPボタン

主に圧力MEMSにおいて、長年のマスク設計を蓄積しているため、通常の開発と比べコストの削減や開発期間の短縮が可能です。
ASAPの概要
広範囲な製造経験

基盤技術
・キャビティ付きSOI/SOG
・トレンチアイソレーション
・層転写技術
・構造化ガラス/ガラスウェハプロセル
・薄膜化ウェハ処理
APMの基盤技術
プロセス技術
・DRIE繰り返し深堀りエッチ
・表面微細加工用低ストレスメンブレン
・ナノオーダー先端加工プロセス
・3D構造微細パターンニング
・ナノオーダーギャップ加工プロセス
APMのプロセス技術
ウェハレベル封止
・SGS/GSG サンドイッチ方式陽極接合
・Si及びガラス貫通穴(TSV,TGV)穴埋め充填
・特殊ダイシング対応横方向フィードスルー穴埋め充填
・ハーメチック封止用共晶接合
・低音接着材接合
APMのウェハレベル封止
特注製造仕様
・各種圧力センサ(約1.2億のチップ出荷実績)
・シリコン、マイクロフォン(約6,000万のチップ出荷実績)
・縦型櫛歯電極アクチュエーター付き2Dマイクロミラー
・シリコンオプティカルベンチ、V溝加工
・マイクロ流体部品とインターポーザー
APMのウェハレベル封止
MEMS製造に特化した技術

成膜・蒸着
・スパッタリング:AlCu/Cu/Pt/Ta/Ta2O5/Ti/TiN/Au/TaAl/Cr/NiCr
・蒸着:Ti/Au/Cu/Pt/Ni/Ag/Cr/Al
・プラズマCVD:Si/SiN/SiO2/Sic/PSG/BPSG
・低圧CVD:SiN/Poly-Si
APMの成膜・蒸着技術
塗布・露光・現像
・5:1 G線ステッパー
・1:1 両面アライナー
・自動両面塗布/現像システム
・斜め側壁PR用スプレーコーター
APMの露光技術
エッチング
・メタル、ポリSi、酸化膜、窒素膜ドライエッチング装置
・ICP方式 Si深堀りエッチング装置
・時間/電子コンピューター工学による異方性KOHエッチング
・KOH/バッファー酸化膜エッチング/液による片側エッチング
・リフトオフプロセス
APMのエッチング技術
イオン注入
・中電流:加速電圧~160keV、ドーズ量1012-1014
・高電流:加速電圧~250keV、ドーズ量1014-1016
・イオン種:B/BF2/P/As
・アニール、アロイ、高速熱処理(RTP)
APMのイオン注入技術
ウェハ接合
・Si/SOIとガラス基板の陽極接合
・サンドウィッチ接合:ガラス-Si-ガラス/Si-ガラス-Si
・キャビティ付き/無しフュージョン接合
・BCB接着剤接合
・Au/Si、Au/Sn、Ge/Al共晶接合
APMのウェハ接合
計測と検査
・SEM、白色干渉計、赤外線顕微鏡
・エネルギー分散型X線分析
・ウェハプロービングとダイシング
APMの計測と検査
グレード品質

TS16949の認証を受け、APMはTier-1の自動車部品メーカー顧客との協力のもと、自社の故障分析研究所と共に原因調査の効率化を図り、プロセス開発の迅速化に繋がっております。
APM全社を通じて品質第一の考えは、大量生産・短期開発だけでなく多数のお客様に満足を頂いております。
・プロセスモニタリング用リアルタイム統計的工程管理システム
・プロセスFMEAとコントロールプラン
・プロセス設計/確認のための先行製品品質計画(APQP)と生産部品承認プロセス(PPAP)の採用
・継続的改善へのチームとしての取り組み(品質管理サークルと品質改善チームの設置)
・測定システム(MSA)
・QCストーリー/8Dの問題解決手法
・RoHS準拠
APMの品質
製造実績

・ピエゾ抵抗トランスデューサ:圧力センサ フォースセンサ
・3D構造化:機能構造化 AFMプローブ
・ウェハレベル封止:横方向貫通接続 TGV/TSV
・ガラスウェハ工程:構造化ガラス シリコン/ガラス
・マイクロアクチュエーター:櫛形駆動サーマルアクチュエータ
・容量型変換器:マイクロフォン cMUT
納入実績

・Tier-1サプライヤへの圧力センサ納入
・HUD&Liderアプリケーション用光学マイクロミラー
・車室内用フォースセンサ
・車室内用ガスセンサ
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