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流量単位は国際単位系(SI)において、立法メートル毎秒が用いられていることが多いです。
半導体分野では、L/mだけでなくSLM(Standard Litter Min)・SLPM・sccmなどの単位で表記している企業も多数ございます。
流量計測の分野では、温度・圧力によって流体量が変化する(ボイル・シャルルの法則)ため、Standardいわゆる基準となる温度と圧力条件で定義する必要があります。
この基準値はメーカーによって異なるため、各メーカーに確認することをおすすめします。

流量換算表

単位 slpm(slm) sccm=(mL/m) L/s mL/s m3/m m3/s Pa m3/s Torr l/s mbar l/s
slpm(slm) 1 1000 0.016666667 16.66666667 0.001 1.67E-05 1.69 12.7 16.9
sccm=(mL/m)0.00111.66667E-050.0166666670.0000011.66667E-080.001690.01270.0169
L/s6060000110000.060.001101.47621014
mL/s0.06600.00116E-050.0000010.10140.7621.014
m3/m1000100000016.6666666716666.6666710.01666666716901270016900
m3/s”6.00E+046.00E+071.00E+031.00E+066.00E+011.00E+001.01E+057.62E+051.01E+06
Pa m3/s0.591715976591.71597630.0098619339.8619329390.0005917169.86193E-0617.51479289910
Torr l/s0.07874015778.740157480.0013123361.3123359587.87402E-051.31234E-060.13307086611.330708661
mbar l/s0.05917159859.171597630.0009861930.9861932945.91716E-059.86193E-070.10.751479291
(注)参考値としてご利用ください。
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