流量単位は国際単位系(SI)において、立法メートル毎秒が用いられていることが多いです。
半導体分野では、L/mだけでなくSLM(Standard Litter Min)・SLPM・sccmなどの単位で表記している企業も多数ございます。
流量計測の分野では、温度・圧力によって流体量が変化する(ボイル・シャルルの法則)ため、Standardいわゆる基準となる温度と圧力条件で定義する必要があります。
この基準値はメーカーによって異なるため、各メーカーに確認することをおすすめします。
流量換算表
| 単位 | slpm(slm) | sccm=(mL/m) | L/s | mL/s | m3/m | m3/s | Pa m3/s | Torr l/s | mbar l/s |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| slpm(slm) | 1 | 1000 | 0.016666667 | 16.66666667 | 0.001 | 1.67E-05 | 1.69 | 12.7 | 16.9 |
| sccm=(mL/m) | 0.001 | 1 | 1.66667E-05 | 0.016666667 | 0.000001 | 1.66667E-08 | 0.00169 | 0.0127 | 0.0169 |
| L/s | 60 | 60000 | 1 | 1000 | 0.06 | 0.001 | 101.4 | 762 | 1014 |
| mL/s | 0.06 | 60 | 0.001 | 1 | 6E-05 | 0.000001 | 0.1014 | 0.762 | 1.014 | m3/m | 1000 | 1000000 | 16.66666667 | 16666.66667 | 1 | 0.016666667 | 1690 | 12700 | 16900 | m3/s” | 6.00E+04 | 6.00E+07 | 1.00E+03 | 1.00E+06 | 6.00E+01 | 1.00E+00 | 1.01E+05 | 7.62E+05 | 1.01E+06 |
| Pa m3/s | 0.591715976 | 591.7159763 | 0.009861933 | 9.861932939 | 0.000591716 | 9.86193E-06 | 1 | 7.514792899 | 10 |
| Torr l/s | 0.078740157 | 78.74015748 | 0.001312336 | 1.312335958 | 7.87402E-05 | 1.31234E-06 | 0.133070866 | 1 | 1.330708661 |
| mbar l/s | 0.059171598 | 59.17159763 | 0.000986193 | 0.986193294 | 5.91716E-05 | 9.86193E-07 | 0.1 | 0.75147929 | 1 |
(注)参考値としてご利用ください。
