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Sensormate フローセンサ 5K

5kのプロフィール
Sensormate製、標準フローセンサ5K。
各仕様はお客様の用途によってカスタマイズ可能です。
標準仕様に合わない場合はご相談ください。
<特徴>
1.MEMS小型低流量センサ
2.低流量域で高感度
3.高い直線性・温度補償
4.dual熱電対による温度勾配変化の検出により、超低ノイズの信頼性
5.圧力ショックと目詰まりに強い
6.接続ポートのカスタマイズが可能
仕様

流量範囲

※カスタマイズ可能
0~10sccm(最大50slpm) 流量換算表

流方向

※カスタマイズ可能
片方向・両方向

動作温度

※カスタマイズ可能
0~50℃

駆動電圧

※カスタマイズ可能
※お問い合わせください

出力タイプ

デジタル・アナログ

精度

※カスタマイズ可能
±4.0FS

接続

※カスタマイズ可能
※お問い合わせください

本体材質

プラスチック

使用可能媒体

※お問い合わせください
気体

センサ寸法

5k寸法
5k寸法
5k寸法
5k寸法
主な用途

・プロセスコントロール
・HVAC(暖房・換気・空調)
・環境測定装置
・ファクトリーオートメーション
・ガス検知器
・分析装置
・医療機器
・麻酔器
・呼吸器
・酸素吸入器
・無呼吸診断装置

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